Tugas akhir ini mempelajari tentang lapisan MoS2 yang dideposisi di atas substrat PET, ITO/PET dan SiO2 dengan menggunakan dua metode yaitu drop casting dan spin coating. Untuk mendapatkan lapisan MoS2 yang tipis dan merata maka perlu dilakukan optimasi parameter spin coating yang baik. Pada penelitian ini, kecepatan putar dan lama waktu putar (pick dwell) divariasikan untuk mengoptimasi sebaran lapisan yang dapat mempengaruhi sifat optik dan listrik. Lapisan MoS2 yang dideposisi dengan menggunakan cara spin coating menghasilkan lapisan yang lebih tipis dibandingkan dengan cara drop casting. Untuk deposisi dengan spin coating sebaran MoS2/PET terlihat lebih banyak celah dibandingkan dengan sebaran lapisan MoS2/ITO/PET dan MoS2/SiO2. Lapisan MoS2/PET menghasilkan ketebalan rata-rata sebesar 7 nm sedangkan lapisan MoS2/ITO/PET menghasilkan ketebalan rata-rata sebesar 5 nm. Jika waktu putar lebih singkat maka diperoleh lapisan yang tebal. Pada saat kecepatan putar meningkat maka lapisan MoS2 yang dihasilkan lebih tipis. Pengukuran sifat listrik dilakukan dengan cara mengamati kurva karakteristik I-V lapisan MoS2 pada substrat. Proses deposisi tidak terlalu mempengaruhi sifat listrik dibandingkan dengan jenis substrat yang digunakan.
Kata kunci : MoS2, PET, ITO/PET, SiO2, drop casting, spin coating.