Telah berabad-abad Al-Qur’an hadir di tengah-tengah peradaban dan pergaulan umat manusia yang terdiri dari 6236 ayat. Untuk mengukur kesamaan semantik antar terjemahan ayat Al-Quran yang bertujuan untuk memahami lebih dalam terhadap makna yang terkait pada ayat Al-Quran dibutuhkan suatu metode salah satunya dengan monolingual word alignment. Monolingual alignment adalah metode penyejajaran kata yang mengidentifikasi kesamaan antar kata dalam pasangan kalimat yang ada. Selain penggunaan metode monolingual alignment dalam pengukuran kesamaan kata yang ada, dibutuhkan pula sebuah dataset yang di align yang berfungsi sebagai kumpulan dari objek yang isinya adalah hubungan semantik antar sets yang ada. Namun dataset monolingual word alignment untuk bahasa Indonesia berformat MSR masih sangat terbatas volumenya. Dalam penelitian ini, diaplikasikan beberapa fitur dalam metode monolingual alignment dalam pembangunan dataset monolingual word alignment bahasa Indonesia berformat MSR yaitu align identical words, align PFA dan align word sequences dengan menghasilkan nilai F1 86.94 %. Untuk hasil F1 terbaik dihasilkan dari beberapa gabungan fitur alignment yaitu dengan fitur align identical words dan align PFA dengan hasil F1 sebesar 88.83 %.
Kata kunci : Al-Quran, Monolingual Alignment, MSR